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      簡述光刻機的演變和所面臨的挑戰

      發布時間: 2020-06-20 來源:

      四川光刻機是諸多當代技能高度集成的產物, 這些技能是:物理學,光學,化學,質料科學,精密呆板,精密控制,工程學等等。

      四川光刻機

      在過往的20幾年中,光刻機作為半導體制造業的緊張配置,經歷了許多次革命。這些變革是陪伴著微處理懲罰器和DRAM特征尺寸的不??s減產生的演變。 由于光刻的辨別率與曝光波長、物鏡光闌孔徑的干系為:辨別率=K1λ/NA以是光刻機的革命緊張產生在這樣幾個方面[2-8]:大NA非球面鏡光學體系,短波長光源,辨別率增強技能(低沉K1因子),同步掃描工件臺等。

      在過往的20幾年中,光刻機作為半導體制造業的緊張配置,經歷了許多次革命。這些變革是陪伴著微處理懲罰器和DRAM特征尺寸的不??s減產生的演變。 由于光刻的辨別率與曝光波長、物鏡光闌孔徑的干系為:辨別率=K1λ/NA以是光刻機的革命緊張產生在這樣幾個方面[2-8]:大NA非球面鏡光學體系,短波長光源,辨別率增強技能(低沉K1因子),同步掃描工件臺等。

      光刻機螺紋隔爆結構有何規定

      在環境實驗箱維修中不經常拆卸的部分可以使用螺紋隔爆結構. 從氫氣、乙炔一空氣混合物的爆炸試驗結果看,螺紋隔爆結構是*好的靜止隔爆結構。例如:在礦用隔爆型移動變電站的高、低壓接線盒中,套管與接線座、接線座與出線盒法蘭之間均為螺紋隔爆結構.

      采用螺紋隔爆結構時,必須**同種零件間的互換性,還必須符合下列規定:

      1.螺紋精度須不低于3級,螺距須不小于0.7mm;

      2.螺紋的*少嚙合扣數、*小擰入深度,須符合規定;

      3.螺紋結構須有防止自行松脫的措施.

      成都光刻機

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      【全文完】

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